高亮度卤素光源装置 YAMADA山田光学

高亮度卤素光源装置 YAMADA山田光学

高亮度卤素光源装置 YAMADA山田光学

根据具体要求可以选择黄光和白光两种光源 可检测各种缺陷 如硅片 砷化镓 碳化硅

等半导体晶片及液晶基板表面的异物 划痕 抛光不均 雾状 划伤等

可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。

因使用鹵素光源灯的光源，具有色温度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。

冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3

二段切換構造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。

型号：YP-150I照度范围φ30 可对应检查6寸半导体晶片

型号：YP-250I照度范围φ60 可对应检查8英寸半导体晶（通风机可选择螺旋式风扇或者管道通风型）

宏観観察用的照明设备，可検测各种缺陥如半导体晶片及液晶基板制品表面的异物、刮痕、抛光不均、雾状、划伤等。

大于400,000luxes的照明光线可容易检测出只有精密探测仪才可测出的瑕疵。(照射面积为 30mmdia). 

使用卤素灯作为光源，色温高达3400K，照光和颜色均一了稳定强光的照射。 

由于冷镜的使用，使得热影响与常规铝镜相比较少1/2   到 1/3 

光束直径由镜片调整30-50mm 之间调整 

底部开光，调整照明勘察器高度，操作简便，可控制光量