TU-4100/J日本TAISEI大成技研 组合式滤芯粉末捕集器
日本TAISEI大成技研 组合式滤芯粉末捕集器
TRAPACK是一种粉末去除捕集器,可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物(细粉)。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及两者结合的组合型三种。特别是,组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉
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更新日期
2024-08-07 - 02
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